ASML développe un équipement de liaison hybride

L'institut de recherche en semi-conducteurs SemiAnalysis a déclaré le 15 octobre que le fabricant d'équipements de lithographie ASML n'avait pas encore annoncé officiellement son équipement de liaison hybride, mais que des brevets et la feuille de route de l'entreprise indiquaient qu'il était en cours de développement. L'article estime qu'ASML pourrait d'abord lancer des outils de liaison hybride pour les puces à plaquettes, considérant cela comme une extension de l'intégration verticale. Les brevets montrent que le système fonctionne sur un rail, chaque puce étant placée sur un support indépendant, et passant successivement par des étapes de détection, de nettoyage, d'activation par plasma, de détection de morphologie, de nivellement, de pré-alignement, d'ajustement de position et d'alignement précis avant d'entrer dans la station de liaison, où le placement final est effectué par le support et la ventouse. La précision de répétition du rail est d'environ 10 microns, inférieure aux 50 nanomètres requis pour la liaison. ASML a soumis 27 familles de brevets de liaison entre décembre 2022 et novembre 2024, la plupart étant destinées à la liaison puce à plaquette. The Elec a rapporté en mars qu'ASML avait commencé la conception de l'architecture de la machine de liaison hybride avec Prodrive Technologies et VDL ETG. L'article mentionne que la liaison plaquette à plaquette a été utilisée pour des capteurs d'image et de la NAND 3D, tandis que la liaison puce à plaquette est actuellement utilisée uniquement pour la production en série de puces logiques, y compris le V-Cache à liaison hybride expédié par AMD depuis 2022 et le SoIC de TSMC. Le SoIC a actuellement un espacement d'environ 6 microns, avec un objectif d'atteindre environ 4,5 microns d'ici 2029. Besi est actuellement le seul fournisseur disposant d'outils de production en série pour la liaison puce à plaquette, les activités logiques connexes étant principalement concentrées chez TSMC et Intel.

Ce contenu est fourni à titre informatif uniquement et ne constitue pas un conseil financier, d'investissement, juridique ou fiscal. Les événements, récompenses, promotions en ligne ou informations mentionnées ici ne doivent pas être considérés comme une recommandation, une sollicitation ou une invitation à acheter, vendre, trader ou effectuer toute autre opération sur des actifs crypto. Les actifs crypto sont très volatils et peuvent entraîner des pertes. La disponibilité des services, produits et événements liés à WEEX peut varier selon les régions. Veuillez vous assurer que votre participation respecte les lois et réglementations locales applicables.